| 发明名称 | 聚合物和含有该聚合物的光刻胶 | ||
| 摘要 | 提供具有非碳四价元素(Si、Ti、Ge、Zr、Sn)的新聚合物和含有这种聚合物的光可成像组合物。优选的聚合物是有机的，如一种或多种含有碳原子的聚合物重复单元。尤其优选的是含有SiO<SUB>2</SUB>或TiO<SUB>2</SUB>重复单元的聚合物，并且其可以有利的用作在短波长例如亚－300nm和亚－200nm下抗蚀剂成像的树脂组分。 | ||
| 申请公布号 | CN1570762A | 申请公布日期 | 2005.01.26 |
| 申请号 | CN200410055223.4 | 申请日期 | 2004.03.03 |
| 申请人 | 罗姆和哈斯电子材料有限责任公司 | 发明人 | A·赞比尼;张弢;J·H·李 |
| 分类号 | G03F7/004;G03F7/20;H01L21/00 | 主分类号 | G03F7/004 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 任宗华 |
| 主权项 | 1.一种光可成像组合物，含有光活性组分和聚合物组分，聚合物组分包括含有下式所示重复单元的聚合物：<img file="A2004100552230002C1.GIF" wi="714" he="161" />其中R是氢或非氢取代基；m和n每个都大于0。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞 | ||