| 发明名称 |
Improved sample inspection system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1265063(B1) |
申请公布日期 |
2005.01.26 |
| 申请号 |
EP20020012062 |
申请日期 |
1998.09.18 |
| 申请人 |
KLA-TENCOR CORPORATION |
发明人 |
VAEZ-IRAVANI, MEHDI;STOKOWSKI, STANLEY;ZHAO, GUOHENG |
| 分类号 |
G01N21/956;G01J3/44;G01N21/00;G01N21/21;G01N21/47;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/95;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/00;G01B7/34;G01N21/86;G01B11/24 |
主分类号 |
G01N21/956 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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