直爪转子真空泵

摘要

直爪转子真空泵，由泵体、转子对、底座、主动轴、从动轴、电机、连接器、连轴器、进气装置等组成。其特点在于转子的周边型体由七段曲直线平滑连接，各级转子对安装时均有90度的相位差，同时对各级泵腔内的吸排气进行了合理安排，使被抽气体流动顺畅，使泵的极限真空度达0.1－3帕，它主要为半导体工业制作芯片所用。

主权项

1、一种直爪转子真空泵，包括基座(2)、泵腔(3)、转子对(4)、电机(16)，其特征在于：电机(16)转轴与安装于泵体内的主动轴(5)经传动装置与从动轴(6)配合连接，转子对(4)通过键槽配合安装在主动轴(5)和从动轴(6)上，泵腔(3)串联安装在基座(2)上。