| 发明名称 |
APPARATUS FOR AUTOMATICALLY MEASURING THE THICKNESS OF TRANSPARENT FILMS ON SILICON WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA893768(A) |
申请公布日期 |
1972.02.22 |
| 申请号 |
CAD893768 |
申请日期 |
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| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
JOHN R. FAY;JOHN P. STINSON |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/06;G01N21/45;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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