具有腔体的金属丝熔丝结构

摘要

一种集成电路具有主要器件和通过至少一个熔丝选择地代替主要器件的冗余器件。熔丝包括具有至少一个熔丝链区的第1层，位于第1层上面的第2层，和在熔丝链区上面的的第2层中腔体。

主权项

1.动态随机存取存储器集成电路，其包括：具有主存储器阵列元件的主存储器阵列；耦连到所述主存储器阵列、包括冗余存储器阵列元件的冗余存储器阵列；至少一个激光熔丝链，用激光能量使至少一个所述的冗余存储器阵列元件选择性地替代有缺陷的一个所述主存储器元件；至少一个腔体部分，位于所述的激光熔丝链和所述激光能量的激光能源之间。