具有第三阶弹性常数的热稳定的表面声波传感器

摘要

一种表面声波(SAW)传感器，其包括设置在衬底(23)上的转换器(24)，其中转换器(24)在衬底(23)上取向，声波传播的方向使得与衬底第三阶弹性常数随温度的变化相关的传感器输出随温度的变化与和衬底线性温度膨胀系数以及衬底第一阶弹性常数和衬底密度随温度的变化的相关的传感器输出随温度的变化总和大致相同并相反。由此减小温度变化对于传感器输出的作用。这可以通过35°配置或通过反射格栅相对于垂直方向在3.1°的角度上倾斜来实现。另外给出具有盘形的牢固组件。特定的应用是扭矩测量。

主权项

1.一种表面声波(SAW)传感器，其包括设置在衬底上的转换器，其中转换器在衬底上取向，使其声波传播的方向使得与衬底第三阶弹性常数随温度的变化相关的传感器输出随温度的变化与和衬底线性温度膨胀系数以及衬底第一阶弹性常数和衬底密度随温度的变化相关的传感器输出随温度的变化总和大致相同并相反。