多层膜电容式压力传感器

摘要

本发明是一种用于传递压力信号的多层膜电容式压力传感器，由电容极板及连接电极板的引线组成，电容极板为电极膜，电极膜之间由电容介质膜填充，电容极板及引线设在衬底上，在电容极板的下方设有空腔。本发明改变了其电容的极板结构，采用了多层膜结构，即采用两层电极板膜将介质膜夹在其间，形成夹层膜结构，夹层膜受压力作用产生形变，介质材料面积发生变化从而导致传感器电容发生变化，可变电容由上下极板电极材料引出，由于面积变化与压力呈现很好的线性关系，所以夹层电容式压力传感器结构具有很好的线性度。本发明提出的夹层电容结构有效地提高了传感器的灵敏度和线性度，温度漂移小，适用于大温度范围内的压力测量。

主权项

1、一种用于传递压力信号的多层膜电容式压力传感器，包括电容上极板(21)和电容下极板(22)及连于电极上极板(21)的引线(211)和连于电极下极板(22)的引线(221)组成，其特征在于电容上极板(21)和电容下极板(22)为电极膜，电容上极板(21)和电容下极板(22)之间由电容介质膜(23)填充，电容上极板(21)、电容下极板(22)、电容介质膜(23)及引线(211)和引线(221)设在衬底(1)上，在电容下极板的下方设有空腔。