发明名称 Method for detaching an epitaxial layer from one substrate and transferring it to another substrate
摘要
申请公布号 EP1059662(B1) 申请公布日期 2005.01.26
申请号 EP20000111393 申请日期 2000.05.26
申请人 LUMILEDS LIGHTING U.S., LLC 发明人 CHEN, YONG;WANG, SHIH-YUAN
分类号 H01L21/306;H01L21/20;H01L21/762;H01S5/183;H01S5/323;H01S5/343;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址