发明名称 A method of implanting a substrate and an ion implanter for performing the method
摘要
申请公布号 GB0428236(D0) 申请公布日期 2005.01.26
申请号 GB20040028236 申请日期 2004.12.23
申请人 发明人
分类号 H01J37/317;G01N23/00;H01J37/304;H01L21/00;H01L21/26;H01L21/265;H01L21/42 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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