检测并防止射频等离子体系统中电弧放电的装置和方法

摘要

一种用于检测并防止等离子体处理系统中的电弧放电的系统和方法。通过测量并分析来自与等离子体耦合的电路(22)的电信号，检测并表征电弧放电。表征之后，随后可使电信号与一个处理期内发生的电弧放电事件相关。可获得关于电弧放电的位置、强度和频率的信息。该系统和方法较好地诊断了电弧放电的原因，并提高了对不良电弧放电的保护，电弧放电可对系统和工件造成损坏。

主权项

1.一种等离子体系统，包括：(a)处理室；(b)等离子体发生电路，具有：(i)功率源；和(ii)从所述功率源接收功率，并把所述功率提供给所述处理室内的等离子体区的等离子体耦合元件；(c)从与所述等离子体区耦合的电路获得接收信号的变换器；及(d)确定所述接收信号是否包括预定频带中的分量，以便检测电弧放电的处理装置。