激光加工用掩模的制造方法

摘要

一种激光加工用掩模的制造方法，具有预定的加工图案，包括：在由激光透过材料形成的第1基板部件的一面形成由激光的反射材料构成的材料层的第1工序，在材料层上形成加工图案的第2工序，以及在形成了加工图案的材料层的没有形成第1基板部件的一侧接合由激光的透过材料构成的第2基板部件的第3工序；第3工序通过对形成加工图案的材料层和第1基板部件的组合体以及第2基板部件中的至少一个施加高频振动，使两者接合。因此，这种激光加工用掩模的制造方法，没有因激光束照射所引起的发热而导致的变形。

主权项

1.一种激光加工用掩模的制造方法，具有预定的加工图案，其特征在于，包括：在由激光透过材料形成的第1基板部件的一面形成由激光的反射材料构成的材料层的第1工序，在所述材料层上形成所述加工图案的第2工序，以及在形成了所述加工图案的所述材料层的没有形成所述第1基板部件的一侧接合由激光的透过材料构成的第2基板部件的第3工序；所述第3工序通过对形成所述加工图案的所述材料层和所述第1基板部件的组合体以及所述第2基板部件中的至少一个施加高频振动，使两者接合。