发明名称 无铅之锡-银-铜合金焊料组合物
摘要 本发明关于一种焊料组合物与形成之相关方法。该焊料组合物至少包含实质上无铅而包括锡(Sn)、银(Ag)与铜(Cu)的一合金。该合金中锡具有之重量百分比浓度至少约90%。该合金中银具有之重量百分比浓度为X。X系十分小以致当该液态合金藉由冷却至固体锡相凝核之低温而凝固时,实质上可抑制Ag3Sn板之形成。此低温对应于与该合金之共熔温度有关的一过冷δT。另一选择是,X可为约4.0%或更少,其中该液态合金系被以一足够高之冷却速率冷却以实质上抑制Ag3Sn板在该合金中形成。该合金中铜具有之重量百分比浓度不超过1.5%。
申请公布号 TWI226854 申请公布日期 2005.01.21
申请号 TW092102604 申请日期 2003.02.07
申请人 万国商业机器公司 发明人 崔K. 尹;查里斯C. 金史密斯;堤蒙西A. 葛瑟霖;多纳德W. 韩德森;姜K. 圣;老卡尔J. 帕立兹;石达渊
分类号 B23K35/22;B23K101;B23K103 主分类号 B23K35/22
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路一四八号十二楼
主权项 1.一种焊料组合物,至少包含一焊料合金, 其中该合金系实质上无铅, 其中该合金包括锡(Sn)、银(Ag)与铜(Cu), 其中该合金中该锡具有之重量百分比浓度至少约 90%, 其中该合金中该银具有之重量百分比浓度为X, 其中X系十分小,以致当该合金由液态藉由冷却至 固体锡相凝核成长的一低温凝固时,会实质上抑制 Ag3Sn板之形成, 其中该低温对应于与该合金之共熔温度有关的一 过冷T,及 其中该合金中铜具有之重量百分比浓度不超过1.5% 。 2.如申请专利范围第1项所述之组合物,其中X的一 预设値系根据X系十分小以致当冷却在该液态之该 合金时实质上会抑制该Ag3Sn板之形成。 3.如申请专利范围第1项所述之组合物,其中X不超 过XMAX且其中XMAX系该液态合金中银之最大重量百 分比浓度,其値使得当冷却该液态合金时在该液态 合金中该Ag3Sn板之形成在热力学上将受阻碍。 4.如申请专利范围第3项所述之组合物,其中XMAX且 是T之函数,该函数系由一三相图与有关一锡、 银与铜之三元混合物之相关热力学资料中推导出 。 5.如申请专利范围第1项所述之组合物,其中该液态 合金中铜之重量百分比浓度系十分小以致该液态 合金之该浆态范围不超过约摄氏10度。 6.如申请专利范围第1项所述之组合物,其中该液态 合金中铜之重量百分比浓度不超过约0.9%。 7.如申请专利范围第1项所述之组合物,其中该合金 更包括一抑制该凝固合金中锡害形成之物质。 8.如申请专利范围第7项所述之组合物,其中该物质 至少包含铋,且其中该铋在该合金中具有之重量百 分比浓度至少0.1%。 9.如申请专利范围第1项所述之组合物,其中X不超 过约2.8%。 10.如申请专利范围第1项所述之组合物,其中X系在 约2.6%至约2.8%之范围内。 11.一种用于形成一电子结构之方法,至少包含: 提供一第一基材以及附接至耦合该第一基材之一 第一导电焊垫的一第一焊球,其中该第一焊球至少 包含一焊料合金,其中该合金实质上系无铅,其中 该合金包括锡(Sn)、银(Ag)与铜(Cu),其中该合金中该 锡具有之重量百分比浓度至少约90%,且其中该合金 中该铜具有之重量百分比浓度不超过约1.5%; 提供一第二基材以及一耦合该第二基材之第二导 电焊垫; 耦合该第一焊球至该第二焊垫; 藉由加热该第一焊球而熔解该第一焊球以形成一 已改变焊球;及 藉由冷却该已改变焊球至该固体锡相凝核的一低 温以凝固该已改变焊球,且其中该低温对应至与该 合金之该共熔温度相关的一过冷T,其中该经凝 固之已改变焊球系耦合该第一基材至该第二基材 的一焊点,且其中该已改变焊球中银具有之重量百 分比浓度X2十分小以致在该冷却时实质上可抑制Ag 3Sn板形成。 12.如申请专利范围第11项所述之方法,其中提供该 第一基材与该第一焊球至少包含在该第一焊球之 合金中选定银的一重量百分比浓度为X1,使该X2十 分小以致在该冷却时实质上抑制该Ag3Sn板之该形 成。 13.如申请专利范围第11项所述之方法,其中X2不超 过XMAX,其中XMAX系该已改变焊球中银之最大重量百 分比浓度,其値使得当冷却该液态合金时Ag3Sn板之 形成在热力学上将受阻碍。 14.如申请专利范围第13项所述之方法,更包含从一 三相图与有关一锡、银与铜之三元混合物的相关 热力学资料中以一T之函数决定XMAX。 15.如申请专利范围第11项所述之方法,其中该第一 基材至少包含一晶片载带,且其中该第二基材至少 包含一电路卡。 16.如申请专利范围第15项所述之方法,其中该第一 焊球系一球格栅阵列(EGA)焊球。 17.如申请专利范围第11项所述之方法,其中该第一 基材至少包含一晶片,且其中该第二基材至少包含 一晶片载带。 18.如申请专利范围第11项所述之方法,其中X2系在 约2.6%至约2.8%之范围间。 19.如申请专利范围第11项所述之方法,其中X2不超 过约2.8%。 20.如申请专利范围第11项所述之方法,其中在冷却 时该已改变焊球中该铜之重量百分比浓度系十分 小以致在冷却时该已改变焊球之该浆态范围不超 过约摄氏10度。 21.如申请专利范围第11项所述之方法,其中该已改 变焊球中该铜之重量百分比浓度不超过约0.9%。 22.如申请专利范围第11项所述之方法,其中该第二 焊垫系一铜焊垫。 23.如申请专利范围第11项所述之方法,其中该第二 焊垫系一铜焊垫,且其中该第一焊球中该铜重量百 分比浓度不超过约0.5%。 24.如申请专利范围第11项所述之方法,其中该第二 焊垫系一镍-金焊垫。 25.如申请专利范围第11项所述之方法,其中该合金 更包括一抑制该合金中锡害形成之物质。 26.如申请专利范围第11项所述之方法,其中耦合该 第一焊球至该第二焊垫之步骤至少包含施用一助 焊剂至该第二焊垫且使该第一焊球接触该助焊剂 。 27.如申请专利范围第11项所述之方法, 其中耦合该第一焊球至该第二焊垫之步骤至少包 含施用一焊膏至该第二焊垫且使该第一焊球接触 该焊膏,及 其中熔化该第一焊球之步骤至少包含藉由加热该 第一焊球与该焊膏以熔化该第一焊球与该焊膏,以 致该已熔化之焊膏被并入该已熔化之第一焊球以 形成该已改变焊球,且使该已改变焊球包括在该第 一焊球内之该焊膏。 28.如申请专利范围第27项所述之方法,其中该焊膏 包括的一银重量百分比XP超过该第一焊球合金内 该银重量百分比浓度X1,且其中X2-X1系至少0.2%。 29.一种用于形成一焊料组合物之方法,至少包含: 提供一焊料合金,其中该合金系实质上无铅,其中 该合金包括锡(Sn)、银(Ag)与铜(Cu),其中该合金中该 锡具有的一重量百分比浓度至少约90%,其中该合金 中该银具有的一重量百分比浓度不超过约4.0%,及 其中该合金中该铜具有的一重量百分比浓度不超 过约1.5%。 藉由加热而熔化该合金;及 藉由一足够高之冷却速率冷却该已熔化合金以凝 固该已熔化合金,以致在该冷却时实质上可抑制在 该合金内形成Ag3Sn板。 30.如申请专利范围第29项所述之方法,更包含在该 凝固前选定足够高之冷却速率以实质上抑制该Ag3 Sn板形成于该合金内。 31.如申请专利范围第29项所述之方法,其中该冷却 速率系至少约每秒摄氏1.2度。 32.如申请专利范围第29项所述之方法,其中在该已 熔化合金中该铜之重量百分比浓度系十分小以致 该已熔化合金之该浆态范围不超过约摄氏10度。 33.如申请专利范围第29项所述之组合物,其中该已 熔化合金中该铜之重量百分比浓度不超过约0.9%。 34.如申请专利范围第29项所述之组合物,其中该合 金更包括一抑制该凝固合金中锡害形成之物质。 35.如申请专利范围第34项所述之组合物,其中该物 质至少包含铋,且其中该合金中该铋具有之重量百 分比至少0.1%。 36.一种用于形成一电子结构之方法,至少包含: 提供一第一基材与附接至耦合该第一基材之一第 一导电焊垫的一第一焊球,其中该第一焊球至少包 含一焊料合金,其中该合金系实质上无铅,其中该 合金包括锡(Sn)、银(Ag)与铜(Cu),其中该合金中该锡 具有之重量百分比浓度至少约90%,其中该合金中该 银具有之重量百分比浓度不超过约4.0%,且其中该 合金中该铜具有之重量百分比浓度不超过约1.5%; 提供一第二基材与一耦合该第二基材之第二导电 焊垫; 耦合该第一焊球至该第二焊垫; 藉由加热该第一焊球而熔化该第一焊球以形成一 已改变焊球;及 藉由以一足够高之冷却速率冷却该已熔化之已改 变焊球而凝固该已改变焊球,以致在该冷却时实质 上抑制在该已改变焊球内形成Ag3Sn板,其中该已凝 固之已改变焊球系耦合该第一基材与该第二基材 的一焊点。 37.如申请专利范围第36项所述之方法,更包含在该 凝固前选定足够高之冷却速率以实质上抑制该Ag3 Sn板形成于该合金内。 38.如申请专利范围第36项所述之方法,其中该第一 基材至少包含一晶片载带,且其中该第二基材至少 包含一电路卡。 39.如申请专利范围第38项所述之方法,其中该第一 焊球系一球格栅阵列(BGA)焊球。 40.如申请专利范围第36项所述之方法,其中该第一 基材至少包含一晶片,且其中该第二基材至少包含 一晶片载带。 41.如申请专利范围第36项所述之方法,其中该冷却 速率系至少约每秒摄氏1.2度。 42.如申请专利范围第36项所述之方法,其中该合金 中该铜之重量百分比浓度系十分小以致该合金之 该浆态范围不超过约摄氏10度。 43.如申请专利范围第36项所述之方法,其中该合金 中该铜之重量百分比浓度不超过约0.9%。 44.如申请专利范围第36项所述之方法,其中该第二 焊垫系一铜焊垫。 45.如申请专利范围第36项所述之方法,其中该第二 焊垫系一铜焊垫,且其中该第一焊球中该铜之重量 百分比浓度不超过约0.5%。 46.如申请专利范围第36项所述之方法,其中该第二 焊垫系一镍-金焊垫。 47.如申请专利范围第36项所述之方法,其中该合金 更包括一抑制该合金中锡害形成之物质。 48.如申请专利范围第36项所述之方法,其中耦合该 第一焊球至该第二焊垫之步骤至少包含施用一助 焊剂至该第二焊垫且使该第一焊球接触该助焊剂 。 49.如申请专利范围第36项所述之方法, 其中耦合该第一焊球至该第二焊垫之步骤至少包 含施用一焊膏至该第二焊垫且使该第一焊球接触 该焊膏,及 其中熔化该第一焊球之步骤至少包含藉由加热该 第一焊球与该焊膏以熔化该第一焊球与该焊膏,以 致该已熔化之焊膏被并入该已熔化之第一焊球以 形成该已改变焊球,且使该已改变焊球包括在该第 一焊球内之该焊膏。 50.一种前焊接电子结构,至少包含: 一第一基材与附接至耦合该第一基材之一第一导 电焊垫的一第一焊球,其中该第一焊球至少包含一 焊料合金,其中该合金系实质上无铅,其中该合金 包括锡(Sn)、银(Ag)与铜(Cu),其中该合金中该锡具有 之重量百分比浓度至少约90%,且其中该合金中该铜 具有之重量百分比浓度不超过约1.5%; 一第二基材与耦合该第二基材的一第二导电焊垫, 其中该第一焊球系耦合该第二焊垫,其中该第一焊 球系适于被加热熔化以形成一已改变焊球,其中该 已改变焊球系适于藉由冷却至一低温使固体锡相 凝核而凝固,其中该低温对应于与该合金之该共熔 温度有关的一过冷T,其中该已凝固之已改变焊 球系耦合该第一基材至该第二基材的一焊点,且其 中该已改变焊球中该银具有的一重量百分比浓度X 2系十分小,以致在该冷却时实质上可抑制Ag3Sn板之 形成。 51.如申请专利范围第50项所述之电子结构,其中该 第一焊球具有的银重量百分比浓度为X1,而其中X1 具有的一预设値系根据X2系十分小以致当冷却在 该已改变焊球时实质上会抑制该Ag3Sn板之形成。 52.如申请专利范围第50项所述之电子结构,其中X2 不超过XMAX,其中XMAX系该已改变焊球中该最大银重 量百分比浓度,其値使得当冷却该液态合金时Ag3Sn 板之形成在热力学上将受阻碍。 53.如申请专利范围第52项所述之电子结构,其中XMAX 系T之函数,该函数系由一三相图与有关锡、银 与铜的一三元混合物之相关热力学资料中推导出 。 54.如申请专利范围第50项所述之电子结构,其中该 第一基材至少包含一晶片载带,且其中该第二基材 至少包含一电路卡。 55.如申请专利范围第54项所述之电子结构,其中该 第一焊球系一球格栅阵列(BGA)焊球。 56.如申请专利范围第50项所述之电子结构,其中该 第一基材至少包含一晶片,且其中该第二基材至少 包含一晶片载带。 57.如申请专利范围第50项所述之电子结构,其中X2 系在约2.6%至约2.8%之范围间。 58.如申请专利范围第50项所述之电子结构,其中X2 不超过约2.8%。 59.如申请专利范围第50项所述之电子结构,其中该 焊膏包括之银重量百分比XP系超过X1,其中X1系该第 一焊球内该银之重量百分比浓度,且其中X2-X1系至 少0.2%。 60.如申请专利范围第50项所述之电子结构,其中在 该冷却时该已改变焊球中该铜之重量百分比浓度 系十分小,以致在冷却时该已改变焊球之该浆态范 围不超过约摄氏10度。 61.如申请专利范围第50项所述之电子结构,其中该 已改变焊球中该铜之重量百分比浓度不超过约0.9% 。 62.如申请专利范围第50项所述之电子结构,其中该 第二焊垫系一铜焊垫。 63.如申请专利范围第50项所述之电子结构,其中该 第二焊垫系一铜焊垫,且其中该第一焊球中该铜重 量百分比浓度不超过约0.5%。 64.如申请专利范围第50项所述之电子结构,其中该 第二焊垫系一镍-金焊垫。 65.如申请专利范围第50项所述之电子结构,其中该 合金更包括一抑制该已改变焊发中锡害形成之物 质。 66.如申请专利范围第65项所述之电子结构,其中该 物质至少包含铋,且其中该合金中该铋具有之重量 百分比至少0.1%。 67.如申请专利范围第50项所述之电子结构,其中耦 合该第一焊球至该第二焊垫系藉由施用于该第二 焊垫之一助焊剂以使该第一焊球接触该助焊剂。 68.如申请专利范围第50项所述之电子结构, 其中耦合该第一焊球至该第二焊垫系藉由施用至 该第二焊垫之一焊膏以使该第一焊球接触该焊膏, 及 其中该第一焊球系适于藉由加热该第一焊球与该 焊膏而熔化,以致该已熔化之焊膏被并入该已熔化 之第一焊球以形成该已改变焊球,且使该已改变焊 球包括在该第一焊球内之该焊膏。 69.一种后焊接电子结构,至少包含: 一第一基材;及 一第二基材,其中该第一基材系藉由一焊点耦合该 第二基材,其中该焊点至少包含一合金,其中该合 金系实质上无铅,其中该合金包括锡(Sn)、银(Ag)与 铜(Cu),其中该合金中该锡具有之重量百分比浓度 至少约90%,其中该合金中该银具有之重量百分比浓 度为X2,其中该X2系十分小以致在该焊点中实质上 不出现Ag3Sn板,且其中该合金中该铜具有之重量百 分比浓度不超过约1.5%。 70.如申请专利范围第69项所述之电子结构,其中该 焊点系从具有一锡-银-铜组合物的一第一焊球形 成,在其中该银具有一重量百分比浓度X1,其中X1具 有的一预设値系根据X2系十分小以致该Ag3Sn板系实 质上不出现于该焊点内。 71.如申请专利范围第69项所述之电子结构,其中该 第一基材至少包含一晶片载带,且其中该第二基材 至少包含一电路卡。 72.如申请专利范围第71项所述之电子结构,其中该 焊点包括一球格栅阵列(BGA)焊球。 73.如申请专利范围第69项所述之电子结构,其中该 第一基材至少包含一晶片,且其中该第二基材至少 包含一晶片载带。 74.如申请专利范围第69项所述之电子结构,其中X2 系在的2.6%至约2.8%之范围间。 75.如申请专利范围第69项所述之电子结构,其中X2 不超过约2.8%。 76.如申请专利范围第69项所述之电子结构,其中在 该焊点中该铜之重量百分比浓度系十分小,以致该 焊点之该浆态范围不超过约摄氏10度。 77.如申请专利范围第69项所述之电子结构,其中该 焊点中该铜之重量百分比浓度不超过约0.9%。 78.如申请专利范围第69项所述之电子结构,其中该 合金更包括一抑制该合金中锡害形成之物质。 79.如申请专利范围第69项所述之电子结构,其中该 物质至少包含铋,且其中该合金中该铋具有之重量 百分比浓度至少0.1%。 图式简单说明: 第1A图描述一电子结构的剖面图,图中显示第一基 材位于待焊接至第二基材处。 第1B图描述第1A图之电子结构在第一基材已焊接于 第二基材后之剖面图。 第2A至2B图显示连结至一焊球之一焊点,在该焊点 置于热循环测试后的剖面影像。 第3A至3B图显示连结至一球格栅阵列(BGA)焊球之一 焊点在该焊点置于热循环测试后的剖面影像。 第3C图描述连结至一球格栅阵列(BGA)焊球之一焊点 的剖面影像,显示在该焊点经热循环测试后该焊球 内之裂缝沿一银-锡板延伸。 第4A至4D图显示依据本发明之具体实施例一锡-3.8 银-0.7铜之焊球,在以每秒摄氏0.2至3.0度间之冷却 速率再熔焊至一镍-金焊垫后之剖面影像。 第5A至5C图显示依据本发明之具体实施例一锡-3.4 银-0.9铜之焊球,在以每秒摄氏0.2至3.0度间之冷却 速率再熔焊至一镍-金焊垫后之剖面影像。 第6A至6C图显示依据本发明之具体实施例一锡-3.2 银-0.9铜之焊球,在以每秒摄氏0.2至3.0度间之冷却 速率再熔焊至一镍-金焊垫后之剖面影像。 第7A至7C图显示依据本发明之具体实施例一锡-2.5 银-0.9铜之焊球,在以每秒摄氏0.2至3.0度间之冷却 速率再熔焊至一镍-金焊垫后之剖面影像。 第8A至8C图显示依据本发明之具体实施例一锡-2.1 银-0.9铜之焊球,在以每秒摄氏0.2至3.0度间之冷却 速率再熔焊至一镍-金焊垫后之剖面影像。 第9A至9C图显示依据本发明之具体实施例一锡-3.5 银之焊球,在以每秒摄氏0.2至3.0度间之冷却速率再 熔焊至一镍-金焊垫后之剖面影像。 第10A至10C图显示依据本发明之具体实施例一锡-3.5 银之焊球,在以每秒摄氏0.2至3.0度间之冷却速率再 熔焊至一铜焊垫后之剖面影像。 第11图显示依据本发明之具体实施例形成于一BGA 焊垫阵列上的锡-3.8银-0.7铜焊球之银-锡板的上视 图,其中该焊球主要之锡组份已被蚀除。 第12图系依据本发明具体实施例之具有不同角度 之焊点的一锡-3.8银-0.7铜的焊球剖面影像。 第13A至13B图系依据本发明之具体实施例一锡-3.8银 -0.7铜之焊球,在其主要锡组份被蚀除后余留之银- 锡板的剖面影像。 第14图系依据本发明具体实施例之锡-银-铜机制内 的一限制组合范围中,浆态范围变化与铜浓度及银 浓度之关系表。 第15图系显示依据本发明之具体实施例一锡-X银-0. 9铜SAC合金之微硬度与银之重量百分浓度及冷却率 之关系的条状图表,其中X系银之重量百分比。 第16图描述依据本发明具体实施例中铜具有固定 重量百分比0.7%之锡-银-铜的三相图。
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