| 摘要 |
<P>Le résonateur comporte une couche piézoélectrique (3) disposée entre deux électrodes (1, 2). Une résistance électrique (9) de chauffage est disposée en contact thermique avec au moins une des électrodes (1). Le chauffage temporaire de l'électrode (1) permet d'évaporer partiellement le matériau constituant l'électrode (1), de manière à amincir l'électrode (1) et, ainsi, d'ajuster la fréquence de résonance. La mesure de la fréquence de résonance au cours de l'évaporation permet d'interrompre le chauffage lorsque la fréquence de résonance désirée est obtenue. L'une des électrodes peut être disposée sur un substrat constitué par un réseau de Bragg acoustique. Le résonateur peut comporter un substrat (4) comportant une cavité (5) sur laquelle est disposée, au moins partiellement, l'une des électrodes (2).</P> |
