| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69922617(D1) |
申请公布日期 |
2005.01.20 |
| 申请号 |
DE1999622617 |
申请日期 |
1999.11.05 |
| 申请人 |
NEC ELECTRONICS CORP., KAWASAKI |
发明人 |
AOKI, HIDEMITSU |
| 分类号 |
H01L21/3205;C25D5/48;C25D7/12;H01L21/24;H01L21/283;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;H01L23/532;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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