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Elektrische Charakteristiken eines Halbleiter-Beschleunigungssensors, der ein Schaltkondensator-Filter enthält, werden getestet, während der Halbleiter-Beschleunigungssensor gerüttelt wird, um eine vorbestimmte Beschleunigung auf den Halbleiter-Beschleunigungssensor auszuüben. Die Rüttelfrequenz ist auf eine niedrige Frequenz von zum Beispiel 50 Hz festgelegt, bei welcher die Beschleunigung stabil ausgeübt werden kann, und die Charakteristik eines Tiefpassfilters wird durch ein Signal von einer externen Testvorrichtung auf mehrere Arten geändert. Ein Sensorsignal wird unter jeder der mehreren Filtercharakteristiken aufgenommen und, wenn diese innerhalb eines vorbestimmten spezifischen Bereichs sind, wird der Halbleiter-Beschleunigungssensor als normal bewertet.
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