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Mit der vorliegenden Erfindung wird eine Möglichkeit zur Erhöhung der Messgenauigkeit und -empfindlichkeit von Sensorelementen mit Heizerstrukturen vorgeschlagen. DOLLAR A Das Sensorelement umfasst mindestens eine Heizerstruktur (1, 2), wobei mindestens eine erste Leiterbahn (4, 6) vorgesehen ist, über die Strom in die Heizerstruktur (1, 2) eingespeist wird, wobei mindestens eine zweite Leiterbahn (5, 7) vorgesehen ist, über die Strom aus der Heizerstruktur (1, 2) ausgekoppelt wird, und wobei Mittel zum Erfassen der Widerstände einzelner Abschnitte der Heizerstruktur (1, 2) vorgesehen sind. Erfindungsgemäß umfassen diese Mittel zum Erfassen der Widerstände zusätzliche hochohmige Messleitungen (8, 9), mit denen die Spannung direkt an den einzelnen Abschnitten der Heizerstruktur (1, 2) abgegriffen wird.
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