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发明名称
HALBLEITER-VERFAHRENSMETHODE ZUR HERSTELLUNG EINES KONTAKTSOCKELS FÜR DEN SPEICHERKNOTEN EINES KONDENSATORS IN INTEGRIERTEN SCHALTUNGEN
摘要
申请公布号
DE69731945(D1)
申请公布日期
2005.01.20
申请号
DE19976031945
申请日期
1997.03.21
申请人
MICRON TECHNOLOGY, INC.
发明人
DENNISON, H.
分类号
H01L21/768;H01L21/28;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824;H01L29/41
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
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