发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Diffusionsbarriere und Polymergegenstand mit einer Diffusionsbarriere
摘要
申请公布号 DE69728092(T2) 申请公布日期 2005.01.20
申请号 DE1997628092T 申请日期 1997.06.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK 发明人 EGITTO, FRANK DANIEL;MATIENZO, LUIS JESUS;MORRISON, BRUCE OTHO JR.
分类号 C08L83/04;C08F2/48;C08J3/28;C08J7/12;C08J7/18;C08L63/00;C08L101/00;H01L23/29;H01L23/31 主分类号 C08L83/04
代理机构 代理人
主权项
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