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发明名称
Kombination von abtastenden und abbildenden Methoden bei der Überprüfung von Photomasken
摘要
申请公布号
DE50104813(D1)
申请公布日期
2005.01.20
申请号
DE20015004813
申请日期
2001.08.01
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
ROTSCH, CHRISTIAN
分类号
G01N21/956;G03F1/00;G12B21/08;(IPC1-7):G03F1/00
主分类号
G01N21/956
代理机构
代理人
主权项
地址
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