| 发明名称 |
Verfahren zur Vorbereitung einer integrierten Schaltung für Transmissionselektronen-Mikroskopie und Verfahren zum Beobachten der Schaltung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69631748(T2) |
申请公布日期 |
2005.01.20 |
| 申请号 |
DE19966031748T |
申请日期 |
1996.12.17 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC INDUSTRY CO., LTD. |
发明人 |
OKIHARA, MASAO |
| 分类号 |
G01N1/28;G01N1/32;G01R31/307;(IPC1-7):G01R31/305 |
主分类号 |
G01N1/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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