发明名称 | X射线掩模与石英环紫外固化装置及使用方法 | ||
摘要 | 一种X射线掩模与石英环紫外固化装置包括:一X射线掩模工作台,该工作台包括安装在其上的X方向位移手轮、Y方向位移手轮和绕Z轴旋转手轮;一真空夹具位于X射线掩模工作台的下方,该真空夹具通过管道来真空吸附X射线掩模,X射线掩模工作台主要用来放置待紫外固化的X射线掩模;一石英环工作台,该石英环工作台位于X射线掩模工作台的下方,以防止X射线掩模的形变;一紫外光源位于石英环工作台的下方;一平行透镜位于石英环工作台和紫外光源之间;一用于观测对准状况的显微镜位于X射线掩模工作台的上方;所说的X射线掩模工作台、石英环工作台、紫外光源、平行透镜和显微镜均安装在一框架上。 | ||
申请公布号 | CN1567088A | 申请公布日期 | 2005.01.19 |
申请号 | CN03147402.0 | 申请日期 | 2003.07.07 |
申请人 | 中国科学院微电子中心 | 发明人 | 谢常青;叶甜春;陈大鹏;李兵 |
分类号 | G03F7/00;G03F1/00 | 主分类号 | G03F7/00 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
主权项 | 1、一种X射线掩模与石英环紫外固化装置,其特征在于,包括:一X射线掩模工作台,该工作台包括安装在其上的X方向位移手轮、Y方向位移手轮和绕Z轴旋转手轮;一真空夹具位于X射线掩模工作台的下方,该真空夹具通过管道来真空吸附X射线掩模,X射线掩模工作台主要用来放置待紫外固化的X射线掩模;一石英环工作台,该工作台包括安装在其上的X方向粗调位移手轮、X方向细调位移手轮、Y方向粗调位移手轮、Y方向细调位移手轮、Z方向粗调位移手轮和Z方向细调位移手轮,该石英环工作台主要用来放置待紫外固化的石英环,该石英环工作台位于X射线掩模工作台的下方,以防止X射线掩模的形变;一紫外光源,用于提供紫外固化所需要的紫外光源,该紫外光源位于石英环工作台的下方;一平行透镜,用于扩束,该平行透镜位于石英环工作台和紫外光源之间;一用于观测对准状况的显微镜,用于观测待紫外固化的X射线掩模和石英环的对准状况,以便位移调节X射线掩模和石英环,该显微镜位于X射线掩模工作台的上方;所说的X射线掩模工作台、石英环工作台、紫外光源、平行透镜和显微镜均安装在一框架上。 | ||
地址 | 100029北京市德胜门外祁家豁子 |