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发明名称 METHOD FOR HANDLING SEMICONDUCTOR LAYERS IN SUCH A WAY AS TO THIN SAME
摘要
申请公布号 EP1497857(A1) 申请公布日期 2005.01.19
申请号 EP20030727614 申请日期 2003.03.26
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 ASPAR, BERNARD;ZUSSY, MARC;CLERC, JEAN-FREDERIC
分类号 H01L27/12;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/68;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/58 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
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