| 发明名称 | 含镍三氯化铁蚀刻废液的再生方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种含镍三氯化铁蚀刻废液的再生方法，依次包括如下步骤：(a)将含镍三氯化铁蚀刻废液加热到600℃～700℃焙烧一定时间，所述含镍三氯化铁蚀刻废液的进料速度为4.3Kg/min～4.7Kg/min；(b)向所述含镍三氯化铁蚀刻废液的焙烧产物中添加一定量的水溶解其中的可溶物质，然后将固液两相分离；(c)步骤b得到的固体物质与盐酸反应，得到三氯化铁蚀刻液。该方法生产成本低、操作简单，可以有效的将镍、铁分离，最终得到的三氯化铁蚀刻液中镍含量低于0.03％，是一种环保经济型处理含镍三氯化铁蚀刻废液的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1566401A | 申请公布日期 | 2005.01.19 |
| 申请号 | CN03116558.3 | 申请日期 | 2003.06.29 |
| 申请人 | 上海新芝电子有限公司 | 发明人 | 李华;李文焕;蔡体伟 |
| 分类号 | C23F1/46 | 主分类号 | C23F1/46 |
| 代理机构 | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人 | 欧阳坚 |
| 主权项 | 1.一种含镍三氯化铁蚀刻废液的再生方法，其特征在于依次包括如下步骤：(a)将含镍三氯化铁蚀刻废液加热到600℃～700℃焙烧一定时间，所述含镍三氯化铁蚀刻废液的进料速度为4.3Kg/min～4.7Kg/min；(b)向所述含镍三氯化铁蚀刻废液的焙烧产物中添加一定量的水溶解其中的可溶物质，然后将固液两相分离；(c)步骤b得到的固体物质与盐酸反应，得到三氯化铁蚀刻液。 | ||
| 地址 | 200233上海市漕河泾开发区钦江路288号 | ||