| 发明名称 |
ELECTRON MICROSCOPE AND ITS FOCAL POINT CONTROL METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1396872(A4) |
申请公布日期 |
2005.01.19 |
| 申请号 |
EP20020736041 |
申请日期 |
2002.06.10 |
| 申请人 |
RIKEN |
发明人 |
IWAKI, MASAYA;BABA, NORIO |
| 分类号 |
G02B7/28;H01J37/153;H01J37/21;H01J37/22;(IPC1-7):H01J37/21 |
主分类号 |
G02B7/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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