| 发明名称 |
Lithographic projection apparatus, device manufacturing method and device manufactured thereby |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1329772(A3) |
申请公布日期 |
2005.01.19 |
| 申请号 |
EP20020258992 |
申请日期 |
2002.12.27 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
BAKKER, LEON;JONKERS, JEROEN;VISSER, HUGO MATTHIEU |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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