可挠式基板的微型超声波换能器

摘要

一种可挠式基板的微型超声波换能器，其中包括：一基板，是由可挠性材料制成，其上、下设有第一表面及第二表面，其中该第一表面二侧设有支架，以形成可挠性的支撑结构；及一震荡膜，设有第一表面及第二表面，其中第二表面设于支架上；及多个第一电极与第二电极，其中第一电极设于基板上，第二电极置于震荡膜上；藉上述组合，能在不增加成本的条件下，达成降低制造步骤，提高震荡膜变形与增加驱动/感测电极间有效感应面积等多重目标，降低阻抗与匹配层的影响，有利于感测灵敏度与效能提高。

主权项

1、一种可挠式基板的微型超声波换能器，是由多个微型超声波换能器单元所组成，其特征是：该微型超声波换能器单元包括：一基板，是由可挠性材料制成，其上、下设有第一表面及第二表面，其中该第一表面二侧设有支架，以形成支撑结构；及一震荡膜，设有第一表面及第二表面，其中第二表面设于支架上；及一电极置于震荡膜上，与基板连结于一电源上；藉上述组合，能在不增加成本的条件下，达成降低制造步骤，提高震荡膜变形与增加驱动/感测电极间有效感应面积等多重目标，降低阻抗与匹配层的影响，有利于感测灵敏度与效能提高。