预备带电粒子束绘图数据的方法

摘要

带电粒子束绘图数据预备方法，所预备的绘图数据用于带电粒子束绘图装置中，其通过转换CAD数据用带电粒子形成微细图形，该方法利用层间计算校验CAD数据与绘图数据之间是否存在差异。当证明CAD数据与绘图装置图形数据之间存在差异时，利用层间计算产生用于补偿这个差异的绘图数据。

主权项

1.一种预备在带电粒子束绘图装置中使用的正确绘图数据的带电粒子束绘图数据预备方法，所述带电粒子束绘图装置通过转换原始CAD数据而利用带电粒子形成微细图形，该方法包括以下步骤：利用层间计算校验原始CAD数据与绘图数据之间是否存在差异；和当在校验步骤中证明原始CAD数据与绘图数据之间存在差异时，利用层间计算产生正确绘图数据来调整因转换原始CAD数据而在所绘图形中产生的缺陷。