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经营范围
发明名称
Testing apparatus
摘要
申请公布号
EP0752588(B1)
申请公布日期
2005.01.19
申请号
EP19960110892
申请日期
1996.07.05
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
OBIKANE, TADASHI;HAYASHI, EIJI;KOSHI, RYOICHIRO
分类号
G01R1/067;G01R31/28;(IPC1-7):G01R1/067;G01R31/316
主分类号
G01R1/067
代理机构
代理人
主权项
地址
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