发明名称 Testing apparatus
摘要
申请公布号 EP0752588(B1) 申请公布日期 2005.01.19
申请号 EP19960110892 申请日期 1996.07.05
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 OBIKANE, TADASHI;HAYASHI, EIJI;KOSHI, RYOICHIRO
分类号 G01R1/067;G01R31/28;(IPC1-7):G01R1/067;G01R31/316 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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