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经营范围
发明名称
Plasmabearbeitungs-Verfahren und -Gerät
摘要
申请公布号
DE69828104(D1)
申请公布日期
2005.01.20
申请号
DE19986028104
申请日期
1998.05.20
申请人
CANON K.K., TOKIO/TOKYO
发明人
MORIYAMA, KOICHIRO;AOTA, YUKITO;KANAI, MASAHIRO;OTOSHI, HIROKAZU
分类号
H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32;H01L31/20
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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