浸入式光微影系统及使用微通道喷嘴的方法

摘要

一种液体浸入式光微影系统包含一曝光系统，其以电磁辐射光一基材并包含一投影光学系统，其将电磁辐射对焦于该基材上。一液体供给系统提供于投影光学系统与基材间之液体流动。多数选用微喷嘴系被安排在该投影光学系统之一侧的周边上，以提供在基材曝光区域中之液体流动之实质均匀的速度分布。