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提供一种能够改良光阻图案的尺寸控制性之用于光阻的显像剂组成物。该用于光阻的显像剂组成物包括一有机季铵硷作为主成分，该显像剂组成物进一步包括一由下面通式(I)所表的阴离子界面活性剂；与SO4^2–，该SO4^2–的含量为从0.01至1质量％093116563-p01.bmp于该式中，R1和R2中至少一者表有5至18个碳原子的烷基或烷氧基且另一者表氢原子，或有5至18个碳原子的烷基或烷氧基，且R3、R4和R5中至少一者表一磺酸铵基或经磺酸取代铵基且其他者表氢原子、磺酸铵基或经磺酸取代铵基。093116563-p01.bmp |
