| 摘要 |
本发明是关于将液晶显示面板、玻璃基板等的薄板状物搬运至处理装置内的搬运装置，提供一种：针对具备具有搬运大型的薄板状物的转动臂(16)之较大型的机器人(14)的搬运装置，即使为2m左右的高度，亦可稳定地举起，且能够进行补正了将转动臂(16)伸长时的挠曲量之搬运的搬运装置及薄板状物搬运系统。其结构为设置可升降地悬臂支承于2个直立支承体(12)之水平支承台部(13)，在水平支承台部(13)载置具有转动臂(16)的搬运机器人(14)。又，伸长臂时的挠曲量是藉由因应挠曲量提升水平支承台部(13)的高度来进行补正。挠曲量亦可藉由使载置于水平支承台部(13)的机器人(14)之设置角度变化来进行补正。 |
