| 摘要 |
本发明提供一种湿化学处理腔室，其包括一固定单元；一以可拆除方式连接至该固定单元的可拆解单元；一接触该固定单元及该可拆解单元的密封体；以及一位于该固定单元及／或该可拆解单元之中的处理元件。该固定单元可能具有一第一流动系统，该流动系统系被配置成用以将一处理流体导引通过该固定单元；以及一安装配件，用以将该固定单元固接至一整合处理器具的平台或底板。该可拆解单元可能包含一第二流动系统，该流动系统系被配置成用以将该处理流体导引至该固定单元的第一流动系统及／或从该固定单元的第一流动系统处来导引该处理流体。该密封体具有一个小洞，让处理流体可经由该小洞在该等第一与第二流动系统之间流动；而该处理元件则可赋予该处理流体某种特性，用以处理一具有次微米微特征之微特征工件上的表面。 |
