| 摘要 |
一种接触式可变电容系由控制用的可动与固定两平行电极，以及一可变间隙的电容之可动与固定两极板所组成，电容之固定电极上被覆一层极薄的介电层，控制用的可动电极与电容的可动极板可连成一悬浮梁如悬臂或简支梁，悬浮梁的控制用可动电极，受控制用固定电极的静电压作用，悬浮梁渐次变形，设于悬浮梁的电容可动电极即使在接触电容固定电极后，仍可继续变形，直至电容可动电极板完全与电容固定电极板接触后停止其电容变化，本可变电容性能特点为电容变化率极高，Q值大，体积小，可使用微机电技术制作，且可与标准积体电路制程相容。 |
