发明名称 | 薄膜电阻的制造方法 | ||
摘要 | 一种薄膜电阻的制造方法,其特征在于:利用印刷形成于一电阻膜上的第一保护层来作为电阻膜蚀刻时的罩幕,以形成电阻膜之图案,且后续第一保护层可用来保护电阻膜而无须移除,以达到简化制造流程与提高薄膜电阻良率之功效。 | ||
申请公布号 | TW200503263 | 申请公布日期 | 2005.01.16 |
申请号 | TW093107136 | 申请日期 | 2004.03.17 |
申请人 | 大毅科技股份有限公司 | 发明人 | 陈文生;江财宝 |
分类号 | H01L29/02 | 主分类号 | H01L29/02 |
代理机构 | 代理人 | 恽轶群;陈文郎 | |
主权项 | |||
地址 | 桃园县芦竹乡南山路二段四七○巷二十六号 |