湿润阻障层的制造方法

摘要

一种湿润阻障层的制造方法，适用于插塞制程之上，系在一介电层内的开口以离子金属电浆沉积钛金属层，以一原位电浆对湿润阻障层进行处理，接着，其以沉积一氮化钛层于钛金属层之上而形成一湿润阻障层。根据本发明所制造的湿润阻障层可降低插塞之阻抗。