光阻剂用树脂及其制造方法,光阻剂用树脂组成物及光阻剂

摘要

本发明系提供降低因光阻剂树脂中的昇华物而导致生产线污染情况，而藉此提升生产性的光阻剂用树脂及其制造方法、光阻剂用树脂组成物及采用其之光阻剂。本发明之光阻剂用树脂之特征在于：使含有邻甲酚、与2，6–二羟甲基–甲酚的苯酚类，在酸性触媒存在下进行反应而获得，配合需要，可再添加醛类进行反应而获得。