液晶显示器之薄膜电晶体结构及其制造方法

摘要

一种应用于液晶显示器制造中的薄膜电晶体结构及其制造方法，系利用金属矽化物作为其中的欧姆接触层。首先，形成非晶矽层于基板上后，避免使用氮气处理制程，如此在非晶矽层表面涸为含有矽单键而具有活性。之后，当金属层直接形成于非晶矽层上时，金属材料即与矽单键进行结合，而于金属层与非晶矽层之间的介面形成金属矽化物。