远紫外线(EUV)辐射之气体放电灯

摘要

本发明揭示一种具有一阳极(1)及一中空阴极(2)之远紫外线(EUV)辐射之气体放电灯，其中该中空阴极(2)具有至少两开口(3、3’)且该阳极(1)具有一穿透孔(4)，该气体放电灯之特征为该等中空阳极开口(3)之纵向轴(5、5’)具有位于该阳极开口(4)之对称轴(6)上之一共同交叉点S。