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发明名称 FLÜCHTIGE VORLÄUFERVERBINDUNGEN FÜR DIE ABSCHEIDUNG VON METALLEN UND METALLHALTIGEN SCHICHTEN
摘要
申请公布号 AT286902(T) 申请公布日期 2005.01.15
申请号 AT20010108053T 申请日期 2001.03.29
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 MORMAN, JOHN, ANTHONY, THOMAS;ROBERTS, DAVID, ALLEN;FARNIA, MORTEZA
分类号 C07F1/00;C07F1/08;C07F5/02;C07F7/10;C07F19/00;C23C16/18;H01L21/285;(IPC1-7):C07F1/00;C07F15/00;C23C16/00 主分类号 C07F1/00
代理机构 代理人
主权项
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