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发明名称 INTERFEROMETRISCHE KONFOKALE NAHFELD- ABTASTMIKROSKOPIE
摘要
申请公布号 AT285081(T) 申请公布日期 2005.01.15
申请号 AT20000953800T 申请日期 2000.08.02
申请人 ZETETIC INSTITUTE 发明人 HILL, HENRY, ALLEN
分类号 G01B9/04;G01Q60/18;G02B21/00;G03F7/20;G11B7/0045;G11B7/005;G11B7/12;G11B7/135;G11B7/1356;G11B7/1372;G11B7/1374;G11B7/1381;G11B7/1387;G11B11/105;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G01B9/04
代理机构 代理人
主权项
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