POLISHING FLUID AND POLISHING METHOD,申请号KR20047017363-传众专利搜索

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发明名称	POLISHING FLUID AND POLISHING METHOD
摘要
申请公布号	KR20050006203(A)	申请公布日期	2005.01.15
申请号	KR20047017363	申请日期	2003.04.28
申请人		发明人
分类号	C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;C09G1/04;H01L21/321	主分类号	C09K3/14
代理机构		代理人
主权项
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