发明名称 METHOD AND DEVICE FOR ELIMINATING STRAY LIGHT
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Eliminierung von Falschlicht bei der Abbildung von heterogenen leuchtenden oder beleuchteten flächenhaften Proben (12) auf ortsauflösende Detektoren (14) für elektromagnetische Strahlung, wobei das Verfahren die folgenden Verfahrensschritte umfasst: Die Probe (12) wird durch eine Beleuchtungseinrichtung derart beleuchtet, dass eine laterale Beleuchtungsstruktur vorhanden ist und mindestens zwei dunkle Bereiche (19; 25) erzeugt werden, die nicht direkt aneinander grenzen. Aufnahmen der beleuchteten Probe (12) werden mit einem ortsauflösenden Detektor (14) hergestellt, wobei für jede Aufnahme die Beleuchtungsstruktur relativ zur Probe (12) verschoben wird. Aus den Intensitätsmessungen in den dunklen Bereichen (19; 25) der Aufnah­men werden ortsaufgelöste Untergrundsignale ermittelt und durch Subtraktion der Falschlichtverteilung von einer vorher gemessenen, das Falschlicht noch enthaltenen Helligkeitsverteilung wird eine von Falschlicht freie Abbildung der Probe (12) erzeugt.</p>
申请公布号 WO2005003837(A1) 申请公布日期 2005.01.13
申请号 WO2004EP06868 申请日期 2004.06.25
申请人 WESTPHAL, PETER;CARL ZEISS JENA GMBH 发明人 WESTPHAL, PETER
分类号 G02B21/06;G02B21/36;(IPC1-7):G02B21/06 主分类号 G02B21/06
代理机构 代理人
主权项
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