发明名称 TWO-DIMENSIONAL LIGHT-MODULATING NANO/MICRO APERTURE ARRAY AND HIGH-SPEED NANO PATTERN RECORDING SYSTEM UTILIZED WITH THE ARRAY
摘要
申请公布号 AU2003248145(A1) 申请公布日期 2005.01.13
申请号 AU20030248145 申请日期 2003.09.26
申请人 HAHN, JAE WON 发明人 JAE WON HAHN
分类号 H01L21/027;G03B27/54;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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