| 发明名称 |
BERÜHRUNGSFREIES SYSTEM ZUR MESSUNG VON FILMDICKEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69922491(D1) |
申请公布日期 |
2005.01.13 |
| 申请号 |
DE19996022491 |
申请日期 |
1999.02.08 |
| 申请人 |
KLA TENCOR CORP |
发明人 |
NIKOONAHAD MEHRDAD;LEE SHING;WANG HAIMING |
| 分类号 |
G01B21/08;G01B17/02;G01N29/00;G01N29/24;G01N29/34;(IPC1-7):G01N29/24 |
主分类号 |
G01B21/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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