MICROWAVE RESONATOR, MODULAR PROCESS CHAIN MADE FROM ONE SUCH MICROWAVE RESONATOR, OPERATIONAL METHOD AND OBJECTS/WORK PIECES THERMALLY PROCESSED BY MICROWAVES ACCORDING TO SAID METHOD

摘要

Es wird ein geradzahlig polygonaler Resonator beschrieben, in dem sich ein hochmodiger Mikrowellenmode ausbildet und so ein grosser Volumenteil vom Resonatorvolumen mit homogener Feldverteilung zur gleichmässigen thermischen Prozessierung von Werkstücken zur Verfügung steht. Entlang mindestens einer Mantelsegmentstosskanten ist aussen ein Einkoppelstrukturpaar angebracht, das links und rechts davon aus mindetens einem die Mikrowelle im Grundmode heranführenden Rechteckhohleiter besteht. Der gemeinsame, Wandteil von Rechteckhohlleiter und Resonator hat eine längs dieses Wandteils angebrachte Einkoppelstruktur aus aufeinanderfolgenden Schlitzen/Einkoppelkonturen. Solche Mikrowellenresonatoren können modular zu einer Prozessstrasse zusammengebaut werden, wodurch unterschiedliche thermische Prozesse wie Erwärmen, Temperaturhalten und kontrolliertes Abkühlen gefahren werden können. Zur Feineinstellung der Feldhomogenität werden die Einkoppelstrukturpaare unter Beibehaltung der vorgegebenen Leistungseinstrahlung in den Resonator gegenläufig oszillierend in der Einzelleistungseinstrahlung betrieben. Thermisch prozessierbare Werkstücke werden in kurzer Zeit mit wenig Energie wirtschaftlicher als mit herkömmlichen Autoklaven prozessiert.