| 发明名称 |
Vorrichtung zum Einspannen eines scheibenförmigen Halbleiterbauelementes |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
CH528818(A) |
申请公布日期 |
1972.09.30 |
| 申请号 |
CH19710013087 |
申请日期 |
1971.09.07 |
| 申请人 |
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH |
发明人 |
NITSCHE,OSWALD |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L23/40;H01L23/48;(IPC1-7):H01L1/12 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
