Dotierte Halbleiteroxidfeinstpulver und Verfahren zu ihrer Herstellung

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Halbleitertechnik und betrifft dotierte Halbleiteroxidfeinstpulver, die beispielsweise als Schichten auf Fernsehbildschirmen zur Anwendung kommen können, und ein Verfahren zu ihrer Herstellung. DOLLAR A Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, dotierte Halbleiteroxidfeinstpulver und ein Verfahren zu ihrer Herstellung anzugeben, die sich durch eine verbesserte elektrische Leitfähigkeit bei gleichzeitig verbesserter optischer Transparenz auszeichnen. DOLLAR A Die Aufgabe wird gelöst durch dotierte Halbleiteroxidfeinstpulver, bei denen die Pulverkörner über ihren Querschnitt eine Segregationsschicht an ihrer Oberfläche aufweisen und über den gesamten weiteren Kornquerschnitt eine gleichmäßige Verteilung der Dotierungselemente zeigen. DOLLAR A Die Aufgabe wird weiterhin gelöst durch ein Verfahren, bei dem ein dotiertes Halbleiteroxidfeinstpulver getempert wird, nach der Abkühlung die Pulverkörner mit einer höchstens monomolekularen Schicht aus dem bereits eingesetzten Dotierungselement beschichtet und danach eine weitere Temperbehandlung bei Temperaturen von 400 bis 1000 DEG C und Zeiten von 10 Minuten bis 6 Stunden durchgeführt wird.