发明名称 |
METHOD FOR MAKING TAPERED OPENING FOR PROGRAMMABLE RESISTANCE MEMORY ELEMENT |
摘要 |
A method for making a tapered opening. The defined tapered opening is useful for the fabrication of programmable resistance memory elements. The programmable resistance memory material may be a chalcogenide. |
申请公布号 |
WO2004086459(A3) |
申请公布日期 |
2005.01.13 |
申请号 |
WO2004US08633 |
申请日期 |
2004.03.22 |
申请人 |
OVONYX, INC. |
发明人 |
MAIMON, JON;RODGERS, JOHN |
分类号 |
H01L;H01L21/00;H01L45/00 |
主分类号 |
H01L |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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