发明名称 Kontrolle einer Mikroskopblende
摘要
申请公布号 DE69631475(T2) 申请公布日期 2005.01.13
申请号 DE19966031475T 申请日期 1996.07.16
申请人 PERKIN ELMER LTD 发明人 CARTER RALPH LANCE;WELLS SIMON ADRIAN;CLARK DAVID ROBERT
分类号 G01B9/04;G01J3/45;G01N21/27;G01N21/35;G02B21/00;G02B21/26;G02B21/36;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G01B9/04
代理机构 代理人
主权项
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