发明名称 |
Kontrolle einer Mikroskopblende |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69631475(T2) |
申请公布日期 |
2005.01.13 |
申请号 |
DE19966031475T |
申请日期 |
1996.07.16 |
申请人 |
PERKIN ELMER LTD |
发明人 |
CARTER RALPH LANCE;WELLS SIMON ADRIAN;CLARK DAVID ROBERT |
分类号 |
G01B9/04;G01J3/45;G01N21/27;G01N21/35;G02B21/00;G02B21/26;G02B21/36;(IPC1-7):G02B21/00 |
主分类号 |
G01B9/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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